微激光鉆孔是工業中最常見和最常用的激光加工之一。各種各樣的激光光源類型可以處理各種材料（金屬、陶瓷、半導體、聚合物和有機材料等），具有前所未有的可重復性、準確性和速度。微鉆孔在許多行業中都很突出，例如汽車、航空航天和電子，甚至激光手術和食品行業。例如，該工藝能夠將高縱橫比鉆孔降至微米級，最近已為汽車行業開發了新的噴嘴，將發動機燃油效率提高到30％。
超短脈沖激光器通常以高重復頻率（有時每秒超過十萬個脈沖）提供短而強的光脈沖。這些激光器的突出特點，是它們可以在極短的時間內，大約一皮秒（10-12秒）到幾十飛秒（10-15秒），集中脈沖的發光強度。每個脈沖都帶有一定量的能量，但其短促性使其能夠獲得相當高的峰值功率（高達幾十瓦）。
另一種常用的形狀是貝塞爾光束，它使傳播的能量在長距離上強烈聚集在小而細長的區域中。因此，對于具有高縱橫比（深度與直徑比遠大于10:1的孔）的小直徑孔（有時直徑小于微米）的鉆孔特別有用。該形狀特別用于加工透明材料，8例如玻璃或藍寶石。對于更具體的應用，可能需要產生更特定幾何形狀的光束，例如使用無掩模光刻來加工光子晶體或電子微元件。
最近，多平面光轉換（MPLC）技術在光束整形方面提供了大量的自由度，同時具有高轉換效率（> 95％）。MPLC技術自2013年開始由法國CAILabs公司開發，在整形參數、景深和能效方面取得了創紀錄的成果。它可以為激光行業生成標準形狀，例如平頂和貝塞爾光束，以及針對更具體應用的定制形狀，無論使用何種波長。此外，它還提供了新功能，例如多個光束的合束整形，可以生成復雜的形狀。
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