在數(shù)控機床的故障檢測過程中，借助一些必要的儀器是必要的，儀器能從定量分析角度直接反映故障點狀況，起到?jīng)Q定作用。
一、測振儀器
測振儀是振動檢測中最常用、最基本的儀器，它將測振傳感器輸出的微弱信號放大、變換、積分、檢波后，在儀器儀表或顯示屏上直接顯示被測設備的振動值大小。為了適應現(xiàn)場測試的要求，測振儀一般都做成便攜式與筆式測振儀。
測振儀用來測量數(shù)控機床主軸的運行情況、電動機的運行情況，甚至整機的運行情況，可根據(jù)所需測定的參數(shù)、振動頻率和動態(tài)范圍，傳感器的安裝條件，機床的軸承型式（滾動軸承或滑動軸承）等因素，分別選用不同類型的傳感器。常用的傳感器有渦流式位移傳感器、磁電式速度傳感器和壓電加速度傳感器。
目前常用的測振儀有美國本特利公司的TK-81、德國申克公司的VIBROMETER-20、日本RI-0N公司的VM-63以及一些國產(chǎn)的儀器。
測振判斷的標準，一般情況下在現(xiàn)場最便于使用的是絕對判斷標準，它是針對各種典型對象制定的，例如國際通用標準ISO2372和ISO3945。
相對判斷標準適用于同臺設備。當振動值的變化達到4dB時，即可認為設備狀態(tài)已經(jīng)發(fā)生變化。所以，對于低頻振動，通常實測值達到原始值的1.5～2倍時為注意區(qū)，約4倍時為異常區(qū)；對于高頻振動，將原始值的3倍定為注意區(qū)，約6倍時為異常區(qū)。實踐表明，評價機器狀態(tài)比較準確可靠的辦法是用相對標準。
二、紅外測溫儀
紅外測溫是利用紅外輻射原理，將對物體表面溫度的測量轉(zhuǎn)換成對其輻射功率的測量，采用紅外探測器和相應的光學系統(tǒng)接收被測物不可見的紅外輻射能量，并將其變成便于檢測的其他能量形式予以顯示和記錄。
按紅外輻射的不同響應形式，分為光電探測器和熱敏探測器兩類。紅外測溫儀用于檢測數(shù)控機床容易發(fā)熱的部件，如功率模塊、導線接點、主軸軸承等。主要制造廠商有中國昆明物理研究所的HcW系列，中國西北#p#分頁標題#e#光學儀器廠的HCW-1、HCW-2，深圳江洋光公司的IR系列，美國LAND公司的CYCLOPS、SOLD型。
利用紅外原理測溫的儀器還有紅外熱電視、光機掃描熱像儀以及焦平面熱像儀等。紅外診斷的判定主要有溫度判斷法、同類比較法、檔案分析法、相對溫差法以及熱像異常法。
三、激光干涉儀
激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，可完成各項參數(shù)的測量，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有一些選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)）、機床動態(tài)特性測量與評估、回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定、觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等。
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