針對以上題目，我們建議：假如誤差很小(幾個微米)，可以在光學(xué)鏡組彼此靠近時設(shè)為基準值并重做測試。在開始測試之前確保光學(xué)鏡組已有充分的時間適應(yīng)環(huán)境溫度，并讓機床預(yù)熱，假如溫度或其它環(huán)境條件在測試期間發(fā)生變化，則可能的原因是激光設(shè)為基準值時由于固定和移動光學(xué)鏡組之間有間隙而引起絲杠誤差。我們要確保在重新測試之前，盡可能降低絲杠誤差的可能性。針對由光學(xué)鏡組適應(yīng)環(huán)境引起的熱漂移題目，在重新測試之前，我們要確保光學(xué)鏡已有足夠的時間適應(yīng)環(huán)境溫度。雷尼紹光學(xué)鏡組引起這種誤差的可能性較小，由于鏡組的制作材料是鋁，能夠比鋼更快地適應(yīng)環(huán)境。
假如絲杠誤差和熱漂移都不是引起誤差的原因，則有可能是機械漂移。機床軸線相對機床位置反饋系統(tǒng)發(fā)生移動的話，則可能是由于編碼器或線性計量儀安裝不牢固引起的，這樣，電機的熱量傳到機床的機體中使機床的溫度逐漸進步。由于有這種可能性，即產(chǎn)生移動的組件因熱膨脹而移動的間隔會受到物理性限制，若是這種情況，我們可以公道猜測在一定次數(shù)的測試之后，誤差(單向)增加的速度將逐漸降低，機械漂移最有可能產(chǎn)生負誤差并且所產(chǎn)生的坡度會是一個方向比另一個方向扁平；另外也有可能是由于編碼器信號有噪音，造成控制器的脈沖計數(shù)增加，或者編碼器信號電平與控制器輸進不兼容的情況。
8、花瓣形
圖3所示的誤差隨時間和間隔不斷增加使線出現(xiàn)花瓣形。導(dǎo)致花瓣形的可能原因有：(1)在材料溫度傳感器定位不正確或者膨脹系數(shù)不正確。(2)滾珠絲杠在測試期間溫度進步、機床溫度改變。
圖3 花瓣形誤差曲線
為保證測試的精確度，建議在開始校準之前要讓機床完全預(yù)熱。在圖3中，安裝滾珠絲杠的端部可能正好與行程起始點重合，并且可在另一端產(chǎn)生軸向浮動。假如滾珠絲杠在對端受到限制，圖形將顯示負坡度。
9、三角形
三角形曲線是指誤差呈線性增加，誤差在行程最遠端機床反轉(zhuǎn)時出現(xiàn)躍升，然后在回程測試回到與軸線起始點時回到同樣位置上。出現(xiàn)三角形的可能原因是在軸線外端部因?qū)к壞p而出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)。應(yīng)當留意的是，反向反射鏡的位置對顯示的誤差有明顯影響。建議使用角度光學(xué)鏡組直接丈量偏轉(zhuǎn)角，以便對偏轉(zhuǎn)題目的嚴重程度有充分的了解。
10、臺階形
圖4顯示的或上或下臺階沿軸線長度按一定的間隔出現(xiàn)。出現(xiàn)臺階形的可能原因在機床方面：大機床上各齒條段對準不佳或裝配不佳或線性編碼器或感應(yīng)式丈量器分段對準不佳或裝配不佳。#p#分頁標題#e#
圖4 臺階形誤差曲線
在裝備有齒條和齒輪傳動機構(gòu)的大型機床上，齒條由很多分別裝配在機床上的單獨分段組成，必須確保每段都正確地與其它段對準，保證齒輪能夠平滑地從一段轉(zhuǎn)到下一段。假如齒條段未正確對準，傳動齒輪在經(jīng)過對準不佳的接合點時可能發(fā)生偏轉(zhuǎn)。這種偏轉(zhuǎn)會導(dǎo)致丈量值出現(xiàn)突躍臺階。這種題目可以通過檢查每個齒條段的長度和相對位置，并與圖形數(shù)據(jù)比較來查明。
綜上分析可以看出，除機床本身精度不佳會帶來上述各種誤差，激光干涉儀操縱不當(包括精度不夠穩(wěn)定或采用自身對溫度影響比較敏感的激光干涉儀系統(tǒng))也會帶來較大誤差。
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