產品特點
l ? 非接觸閉式氣浮結構 ? 光柵尺閉環反饋
l ? 亞微米級重復定位精度 ? 直線度平面度優于1μm
? 優化線纜管理 ? 可定制化設計
應用領域
QFU-A系列是一款閉式氣浮導軌的雙軸氣浮運動臺，十字疊層結構用于超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業。
結構特點
雙軸氣浮運動臺采用氧化鋁氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，十字疊層結構，底軸為三氣浮導軌結構，上軸的運動行程尺寸在底軸寬度范圍內，防止上軸出現懸空下塌，改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運動臺為非接觸式，隨著時間地推移，不會出現磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高系統剛性和帶寬，增加控制系統的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.2μm，重復定位精度±0.1μm，直線度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。
線纜管理
精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能，使用高質量的線纜，以確保無故障操作。
定制化
可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm。行程可接受定制。
規格指標
型號 | 單位 | QFU-A-200-200 | QFU-A-300-300 | QFU-A-400-400 | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400 | 400 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.3 |
標準值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.8 | ±0.8 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 |
標準值 | ±1 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | ||||||
最大負載 | kg | 20 | ||||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
