產品特點
l ? 非接觸開式氣浮結構 ? 行程25~150mm可選
l ? 重復定位精度±50nm ? 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm
l ? 擺角誤差±0.5arc sec ? 帶防護罩防塵裝置
應用領域
QFL-FH系列氣浮運動臺帶防護罩裝置，可作為單軸使用，或與其它軸組裝成多軸系統，用于超精密加工，金剛石單點車等加工行業。
結構特點
QFL-FH氣浮運動臺主要采用氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，開式氣浮導軌，永磁預載，多孔與小孔相結合的方式，側向剛度大，適用于超精密加工等行業。氣浮導軌可根據客戶需求定制多種版本，有航空鋁合金版、大理石版、氧化鋁版及碳化硅版。最高直線度可達0.1μm內，重復定位精度最高可達±15nm。
精度性能
氣浮導軌基于氣體靜壓效應，實現無摩擦和無振動地平滑移動，QFL-FH系列氣浮運動臺，行程25~150mm可選，定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch、Roll及Yaw ±0.5arc sec，由于非接觸式移動，高精度直線光柵閉環反饋，系統跟隨誤差有了質地提升。
防塵設計
采用獨特的密封裝置，最小阻尼系數不影響精度性能，在應用中防止異物進入氣浮導軌。
定制化
可定制碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能。
規格指標
型號 | 單位 | QFL-FH-25 | QFL-FH-75 | QFL-FH-100 | QFL-FH-125 | QFL-FH-150 | |
行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
標準值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
標準值 | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.5 |
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | 300 | |
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（≥5 定制） | |||||
最大負載 | kg | 15 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
