激光調(diào)電阻的原理：
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為了提高厚膜電路的精度，必須進(jìn)行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，如果阻值超過(guò)標(biāo)稱值將無(wú)法修正，但是，一般情況下印刷燒成后阻值低于目標(biāo)值的大約30％，所以要通過(guò)激光調(diào)整達(dá)到目標(biāo)值。
激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機(jī)理
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過(guò)硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測(cè)量等系統(tǒng)相連接。測(cè)量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò)組成。
激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能，可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò)、瓷基薄膜集成元件，還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度，V/F轉(zhuǎn)換器的頻率，有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運(yùn)算放大器的失調(diào)電壓等。同時(shí)還具有IEEE488接口，可與其他測(cè)試設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。
激光修調(diào)系統(tǒng)主要包括以下幾個(gè)部分：
（1）激光器部分
采用氪激勵(lì)的高頻Q開關(guān)、Nd:YAG激光器，厚膜修調(diào)最小光斑達(dá)38μm，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～50kHz。
（2）光束定位系統(tǒng)
分為線性馬達(dá)式、開環(huán)和閉環(huán)檢流計(jì)式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。縮短光束定位時(shí)間和修調(diào)時(shí)間，工作效率高。
（3）程控衰減系統(tǒng)
由多個(gè)衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機(jī)的輸出信號(hào)。
（4）修調(diào)設(shè)定器
它直接與激光器、光束定位器、分步重復(fù)臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調(diào)方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動(dòng)校正功能，在長(zhǎng)期工作時(shí)可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定。
5）阻值及電壓測(cè)定裝置
采用精密電橋和矩陣組合的測(cè)試無(wú)源網(wǎng)絡(luò)，阻值測(cè)量精度可達(dá)0.02％，測(cè)量時(shí)間僅為5ms。這種設(shè)計(jì)可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)消除偏離及極性轉(zhuǎn)換，還可用來(lái)測(cè)定有源電路修調(diào)時(shí)的直流電壓。
6）自動(dòng)功率測(cè)量系統(tǒng)
激光器功率測(cè)量是利用最低限度的中斷通過(guò)測(cè)量來(lái)測(cè)定。用微機(jī)控制螺形管驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，激光束通過(guò)衰減器內(nèi)的100％反射鏡，射向熱電偶器件，然后送到1個(gè)多量程功率計(jì)。切割圖形。
激光調(diào)阻時(shí)，被切割的電阻體圖形主要有以下幾種：
（1）單刀切割電阻法
（2）雙刀切割電阻法
（3）L型刀口切割電阻法
（4）交叉對(duì)切電阻法
（5）曲線型L刀口的切法
（6）曲線型U型刀口的切法
在實(shí)際工作中，主要應(yīng)用的是前4種，對(duì)于不同的電阻應(yīng)根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口最為常用，而且調(diào)過(guò)的阻值穩(wěn)定性好。
常用的調(diào)阻工藝
常用的調(diào)阻方法有噴砂、激光和電壓脈沖調(diào)整：
噴砂調(diào)阻：
通過(guò)噴射砂流對(duì)電阻基片進(jìn)行打磨，使電阻漿料層受磨損，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度，而達(dá)到一定要求的阻值。是一種常規(guī)的調(diào)阻方案。
噴砂調(diào)阻機(jī)設(shè)備價(jià)格較低，但調(diào)阻精度不易控制，速度較慢，不易于自動(dòng)化及批量生產(chǎn)。
激光調(diào)阻：
通過(guò)短脈沖激光掃描切割電阻基片，使電阻漿料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)，適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。
激光調(diào)阻機(jī)價(jià)格較高，精度易控制，速度較快，且易于自動(dòng)化及批量生產(chǎn)，且能完成電路的功能調(diào)阻，目前是調(diào)阻的主流工藝。
激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學(xué)度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹?lái)越廣泛的應(yīng)用。 三工激光調(diào)阻機(jī)根據(jù)市場(chǎng)要求，設(shè)計(jì)的調(diào)阻機(jī)型，可根據(jù)客戶電路要求定做。
激光調(diào)阻方案
激光微調(diào)系統(tǒng)（激光調(diào)阻設(shè)備、激光調(diào)電阻設(shè)備）主要包括以下幾個(gè)部分：
（1）激光器部分
采用氪激勵(lì)的高頻Q開關(guān)、Nd:YAG激光器，厚膜修調(diào)最小光斑達(dá)38μm，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～50kHz。
（2）光束定位系統(tǒng)
分為線性馬達(dá)式、開環(huán)和閉環(huán)檢流計(jì)式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。縮短光束定位時(shí)間和修調(diào)時(shí)間，工作效率高。
（3）程控衰減系統(tǒng)
由多個(gè)衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機(jī)的輸出信號(hào)。
（4）修調(diào)設(shè)定器
它直接與激光器、光束定位器、分步重復(fù)臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調(diào)方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動(dòng)校正功能，在長(zhǎng)期工作時(shí)可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定。
5）阻值及電壓測(cè)定裝置
采用精密電橋和矩陣組合的測(cè)試無(wú)源網(wǎng)絡(luò)，阻值測(cè)量精度可達(dá)0.02％，測(cè)量時(shí)間僅為5ms。這種設(shè)計(jì)可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)消除偏離及極性轉(zhuǎn)換，還可用來(lái)測(cè)定有源電路修調(diào)時(shí)的直流電壓。
（6）自動(dòng)功率測(cè)量系統(tǒng)
激光器功率測(cè)量是利用最低限度的中斷通過(guò)測(cè)量來(lái)測(cè)定。用微機(jī)控制螺形管驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，激光束通過(guò)衰減器內(nèi)的100％反射鏡，射向熱電偶器件，然后送到1個(gè)多量程功率計(jì)。
簡(jiǎn)易型調(diào)阻方案：
實(shí)現(xiàn)功能：通過(guò)手動(dòng)控制控針，對(duì)電組進(jìn)行自動(dòng)精密調(diào)節(jié)。
1、激光器及控制系統(tǒng)：YAG50激光器
2、光學(xué)定位系統(tǒng)：XY自動(dòng)控制
3、阻值測(cè)量及控制系統(tǒng)
4、手動(dòng)控針
標(biāo)準(zhǔn)型調(diào)阻方案：
實(shí)現(xiàn)功能：通過(guò)自動(dòng)控制控針，對(duì)批量電組進(jìn)行自動(dòng)精密調(diào)節(jié)。
1、激光器及控制系統(tǒng)：YAG50激光器
2、光學(xué)定位系統(tǒng)：五維工作方式
3、阻值測(cè)量及控制系統(tǒng)
4、自動(dòng)控針：自動(dòng)上、下
5、監(jiān)控系統(tǒng)：雙路CCD監(jiān)控
在線功能調(diào)阻方案：
實(shí)現(xiàn)功能：通過(guò)電路中電組進(jìn)行精密調(diào)節(jié)，完成電路功能。
1、激光器及控制系統(tǒng)：YAG50激光器
2、光學(xué)定位系統(tǒng)：XY自動(dòng)控制
3、阻值測(cè)量及控制系統(tǒng)
4、自動(dòng)控針：手動(dòng)
5、功能信號(hào)接口：根據(jù)電路功能要求
激光調(diào)阻機(jī)的種類
目前調(diào)阻機(jī)按功能可分單純調(diào)阻及功能性調(diào)阻兩類：
單純調(diào)阻：
對(duì)電阻進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)至某一固定阻值，完成調(diào)阻。這類設(shè)備比較簡(jiǎn)單。
功能性調(diào)阻：
對(duì)某一電路中的電阻進(jìn)行精密調(diào)節(jié)，使此電路模塊完成相應(yīng)的功能。此類設(shè)備比較復(fù)雜，且設(shè)備與電路要求相適應(yīng)。
激光調(diào)阻機(jī)樣圖
激光調(diào)阻機(jī)的發(fā)展前景與社會(huì)效應(yīng)
激光調(diào)阻機(jī)是利用激光工藝對(duì)薄膜或厚膜電阻進(jìn)行雕刻實(shí)現(xiàn)精密調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備，在移動(dòng)終端、數(shù)碼相機(jī)、便攜機(jī)等移動(dòng)設(shè)備生產(chǎn)場(chǎng)所，采用精密激光調(diào)阻機(jī)作為加工工藝設(shè)備，有很大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
本項(xiàng)目技術(shù)含量很高，需要成熟掌握半導(dǎo)體端面泵浦激光器技術(shù)、激光聚焦與圖象監(jiān)控技術(shù)、同軸數(shù)控軟件與圖像視覺(jué)自動(dòng)識(shí)別定位技術(shù)、ATE（自動(dòng)化測(cè)試工裝）等技術(shù)。國(guó)際上主要廠家為美國(guó)ESI和GSI公司兩家。目前，在國(guó)內(nèi)，精密激光調(diào)阻機(jī)僅三工光電一家生產(chǎn)廠家。
精密激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，將直接帶動(dòng)國(guó)內(nèi)電子元件的生產(chǎn)水平跨入國(guó)際先進(jìn)行列，推動(dòng)我國(guó)激光加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為爭(zhēng)取民族高科技產(chǎn)業(yè)在世界上占有一席之地作出一定的貢獻(xiàn)。
1、推動(dòng)機(jī)械制造及相關(guān)行業(yè)的發(fā)展。
精密激光調(diào)阻機(jī)不同于低端的激光加工設(shè)備，要求結(jié)構(gòu)件、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等精密、輕巧，控制精度要求高。因其技術(shù)含量高，利潤(rùn)也高，因此，足以支持上游零部件制造商改進(jìn)設(shè)計(jì)、工藝技術(shù)，提高制造水平，提升產(chǎn)品品質(zhì)，取得全面進(jìn)步。
2、推動(dòng)精密光學(xué)零件制造及相關(guān)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。
精密激光調(diào)阻機(jī)要求激光光束精細(xì)，光斑小，模式好。因此，對(duì)光學(xué)零件的要求很高。由于有具體的目標(biāo)和設(shè)計(jì)要求，可以指導(dǎo)光學(xué)零部件制造廠家技術(shù)進(jìn)步，并給予充足的資金保障。
3、降低電子元件的生產(chǎn)成本，提升民族企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。
由于精密激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，打破了外商的壟斷，必然引導(dǎo)外商進(jìn)行一輪價(jià)格戰(zhàn)，廠家獲得的直接好處是，設(shè)備的采購(gòu)價(jià)格降低，維護(hù)費(fèi)用降低，技術(shù)支持力度加大。不僅降低了電子元器件的制造成本，也提升了其新產(chǎn)品研發(fā)能力，縮短其新產(chǎn)品開發(fā)周期，提高其競(jìng)爭(zhēng)力。
4、打破外國(guó)對(duì)我國(guó)IC制造業(yè)的封鎖，降低我國(guó)IC制造業(yè)的技術(shù)門檻。
精密激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，可以加快我國(guó)對(duì)光刻機(jī)技術(shù)的全面掌握。在軍用IC制造過(guò)程中，采用國(guó)產(chǎn)化的產(chǎn)品對(duì)老舊進(jìn)口設(shè)備更新，不僅可以提高產(chǎn)品的性能，更重要的是可以有效防止通過(guò)設(shè)備維護(hù)渠道造成的“泄密”。所以，該項(xiàng)目的實(shí)施，不僅可大力促進(jìn)冶金、機(jī)加工、印刷等行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步與產(chǎn)業(yè)升級(jí)，將在一定程度上緩解重大冶金技術(shù)裝備國(guó)產(chǎn)化程度低、主要依賴進(jìn)口的局面，還可積極帶動(dòng)激光器及光學(xué)部件、精密機(jī)械加工、精密儀器儀表、電子元器件、數(shù)控軟件等上游產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
激光調(diào)阻機(jī)實(shí)現(xiàn)電阻精密調(diào)節(jié)
激光調(diào)阻機(jī)是利用激光工藝對(duì)薄膜或厚膜電阻進(jìn)行雕刻、實(shí)現(xiàn)阻值精密調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。在便攜電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，采用精密激光調(diào)阻機(jī)作為加工設(shè)備，具有極大發(fā)展?jié)摿Α?/div>
激光調(diào)阻機(jī)技術(shù)含量較高，需要熟練掌握半導(dǎo)體端面泵浦激光器技術(shù)、激光聚焦與圖像監(jiān)控技術(shù)、同軸數(shù)控軟件與圖像視覺(jué)自動(dòng)識(shí)別定位技術(shù)、ATE（自動(dòng)化測(cè)試工裝）等技術(shù)。美國(guó)ESI公司和GSI公司是目前國(guó)際上主要的激光調(diào)阻機(jī)廠商。在國(guó)內(nèi)，目前僅有三工激光公司能自主研發(fā)生產(chǎn)精密激光調(diào)阻機(jī)。也有一些廠商將傳統(tǒng)燈泵浦打標(biāo)機(jī)當(dāng)作激光調(diào)阻機(jī)來(lái)做概念宣傳，但因光束質(zhì)量問(wèn)題，均難以達(dá)到應(yīng)有的效果。
三工光電研制的激光調(diào)阻設(shè)備，憑借快速反映能力、在電力電子產(chǎn)品ATE研制方面的專家和具有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格等優(yōu)勢(shì)，贏得了客戶的青睞，打破了ESI、GSI等跨國(guó)公司對(duì)該領(lǐng)域的壟斷。
精密激光調(diào)阻機(jī)不同于低端的激光加工設(shè)備，要求結(jié)構(gòu)件、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等精密、輕巧，控制精度要求高，而且要求激光光束精細(xì)、光斑小、模式好，機(jī)械制造、緊密光學(xué)制造等行業(yè)將受益匪淺。此外，精密激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，還能幫助用戶降低電子元件的生產(chǎn)成本，提升競(jìng)爭(zhēng)力。
應(yīng)用案例 ：
應(yīng)用背景
A公司的主要業(yè)務(wù)是為各種電氣產(chǎn)品提供配套服務(wù)。為了滿足家用電器、汽車和其他電氣產(chǎn)品的更高要求，該公司的研發(fā)工作主要專注于縮小產(chǎn)品尺寸、提高產(chǎn)品響應(yīng)速度、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命，并提高產(chǎn)品可靠性。
遇到的問(wèn)題
很多電路對(duì)電阻的阻值要求十分精確，相對(duì)誤差要求達(dá)到千分之幾甚至萬(wàn)分之幾。然而由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，用現(xiàn)在的制造工藝，相對(duì)誤差只能達(dá)到5%，甚至更低，所以必須進(jìn)行電阻微調(diào)，達(dá)到更高精度。
現(xiàn)有的操作方式是采用精密電阻人為測(cè)量調(diào)整，這種方式需要耗費(fèi)較多人力；或者采用電位器進(jìn)行阻值調(diào)整，但這種方式存在超調(diào)，電位器會(huì)回彈，產(chǎn)生電路振蕩，在移動(dòng)或運(yùn)輸過(guò)程中也容易松動(dòng)，產(chǎn)生參數(shù)漂移。
解決方案
在與客戶協(xié)商后，三工激光建議客戶使用激光調(diào)阻方案。激光電阻微調(diào)是通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻的導(dǎo)電截面積，進(jìn)而把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。
用激光束按一定軌跡照射在電阻膜片上，基片電阻漿料層受激光照射加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變電阻體的導(dǎo)體截面面積和導(dǎo)電體長(zhǎng)度，達(dá)到微調(diào)電阻的目的。同時(shí)，對(duì)電阻進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量，將測(cè)量結(jié)果與設(shè)定阻值進(jìn)行比較，并控制激光的掃射運(yùn)動(dòng)，達(dá)到預(yù)定的要求。
結(jié)果比較
激光調(diào)阻的表現(xiàn)證實(shí)了該方案的成功性。激光調(diào)阻幫助客戶降低了電子元器件的制造成本，提高了生產(chǎn)效率，也提升了其新產(chǎn)品研發(fā)能力，縮短了產(chǎn)品開發(fā)周期，提升了公司競(jìng)爭(zhēng)力。
由此可以看到，激光調(diào)阻和傳統(tǒng)調(diào)阻方法相比，具有較大優(yōu)勢(shì)，在工業(yè)生產(chǎn)制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
現(xiàn)代激光調(diào)阻技術(shù)造就高性能混合電路
20世紀(jì)60年代初激光器問(wèn)世一來(lái)，經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展，現(xiàn)已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)。國(guó)內(nèi)外不少混合電路廠家都采用激光調(diào)阻工藝。與其他調(diào)阻技術(shù)相比，激光調(diào)阻的精度高，效率高。
現(xiàn)代激光技術(shù)是制造高性能混合電路的重要手段。現(xiàn)代激光調(diào)阻技術(shù)不僅能對(duì)厚膜基片進(jìn)行調(diào)阻，而且能對(duì)組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調(diào)，保證電路的功能。隨著混合電路向高性能、高可靠和高密度發(fā)展，激光調(diào)阻技術(shù)在混合電路制造中的作用日益突出。
激光調(diào)阻機(jī)是一種精密的激光微調(diào)設(shè)備，它通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻體的導(dǎo)電截面積，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)，適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。它的主要構(gòu)成為：一臺(tái)輸出脈沖頻率可調(diào)的調(diào)Q脈沖Nd:YAG激光器，輸出波長(zhǎng)為1.06μm激光，經(jīng)兩軸偏轉(zhuǎn)后，由光學(xué)系統(tǒng)匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺(tái)上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度。高速高精度在線電阻測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量電阻器的阻值，當(dāng)阻值達(dá)到標(biāo)稱值時(shí)，由電控開關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過(guò)程，全過(guò)程用時(shí)5－20ms。由一臺(tái)X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調(diào)。然后，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)向前運(yùn)動(dòng)一個(gè)行距的位置，重復(fù)上述過(guò)程完成第二行調(diào)阻，依此類推，直至調(diào)完一片。所有上述工作在一臺(tái)計(jì)算機(jī)統(tǒng)一控制下，協(xié)調(diào)高效地進(jìn)行。
激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學(xué)度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹?lái)越廣泛的應(yīng)用。
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