星之球激光 來源：coherent公司2011-08-26
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相干公司最新推出IndyStar 2kHz準分子激光器，已完全通過Semi S2認證，采用了幾種新的輸出穩定化技術以促進工藝提高，使其成為半導體制造、測試、檢驗以及微加工等應用...
相干公司最新推出IndyStar 2kHz準分子激光器，已完全通過Semi S2認證，采用了幾種新的輸出穩定化技術以促進工藝提高，使其成為半導體制造、測試、檢驗以及微加工等應用的理想選擇。該激光器具備193nm (ArF)、8W穩定輸出，以及248nm (KrF)、12W穩定輸出的兩個型號。
IndyStar 2kHz采用了一個先進的電子平臺以實現POWERLOK和TIMELOK這兩種新的穩定化輸出技術。POWERLOK技術確保每個脈沖的能量一致性，特別適合于需要使用特定脈沖串的應用。TIMELOK提供了非凡的脈沖觸發延時的穩定性，因而適用于需要與其他設備嚴格同步的應用。由于采用了經過業界驗證的ALMETA （全金屬陶瓷) 腔技術，保證了IndyStar系列激光器的超低運營成本以及長壽命和高可靠性的特點。
IndyStar 2 kHz在諸如光掩膜檢查以及光刻鏡片測試等應用方面顯示了更快、更好的效果。也可以實現在包括精確材料去除和標記等高速加工方面的應用。
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