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西北首條8英寸硅光中試線通線 助力陜西撬動千億光子產(chǎn)業(yè)

激光制造網(wǎng) 來源:中國證券報2025-11-06 我要評論(0 )   

11月4日,在西安舉行的2025硬科技創(chuàng)新大會光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上,陜西光電子先導(dǎo)院建設(shè)的“8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺”正式宣告通線。作為西北地區(qū)首條硅光中試線,...

      11月4日,在西安舉行的2025硬科技創(chuàng)新大會光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上,陜西光電子先導(dǎo)院建設(shè)的“8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺”正式宣告通線。作為西北地區(qū)首條硅光中試線,該中試線填補了西北區(qū)域在硅光芯片中試領(lǐng)域的空白,成為陜西光子產(chǎn)業(yè)從藍(lán)圖邁向?qū)嵺`的關(guān)鍵支點。

  同日,陜西首次公開了投入超10億元的光子科技實驗室建設(shè)規(guī)劃。中國科學(xué)院西安光機(jī)所副所長付玉喜在活動現(xiàn)場表示,光子實驗室旨在兩年內(nèi)引進(jìn)國際頂尖科學(xué)家,集聚科研人員超過100名,攻克超過30項光子領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù),助推陜西全省光子產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值在2027年突破500億元。

 光子產(chǎn)業(yè)獲核心支點

  11月4日,在2025硬科技創(chuàng)新大會光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上,陜西光電子先導(dǎo)院總經(jīng)理楊軍紅介紹陜西“追光計劃”階段性進(jìn)展,宣布光電子先導(dǎo)院建設(shè)的“8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺”(8英寸硅光中試線)已正式通線,并發(fā)布了一款無源SOI(絕緣襯底上的硅)集成超低損耗氮化硅產(chǎn)品的PDK(工藝設(shè)計套件)。

  記者了解到,這一平臺總投資7.5億元,于2023年底啟動建設(shè),至2025年9月末已完成全部場地及硬件設(shè)施建設(shè)。該平臺引進(jìn)了比利時IMEC“130nm硅光芯片工藝包”,并引入了光刻、刻蝕等60余臺(套)關(guān)鍵核心設(shè)備,已在130nm有源集成硅光主工藝平臺基礎(chǔ)上,開發(fā)90nm以上先進(jìn)工藝,構(gòu)建起自主可控的先進(jìn)工藝體系。

  楊軍紅告訴記者,硅光技術(shù)作為AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領(lǐng)域的核心支撐,正處于技術(shù)突破與應(yīng)用落地的關(guān)鍵期。然而,全球硅光中試資源多掌握在歐美企業(yè)手中,國內(nèi)企業(yè)依托國外平臺流片需支付高昂費用,且面臨流片周期長、產(chǎn)能優(yōu)先供給受限等問題。陜西光電子先導(dǎo)院的8英寸硅光平臺,正是擺脫這一困境的硬核方案。

  楊軍紅表示,8英寸硅光平臺預(yù)計將于2026年完成有源產(chǎn)品通線,包含高性能調(diào)制器、探測器等核心器件,將加速可應(yīng)用于人工智能、光通信、光計算、智能駕駛、低空飛行、醫(yī)療健康等領(lǐng)域的產(chǎn)品迭代進(jìn)程。

  楊軍紅介紹,該平臺作為西北地區(qū)首條硅光中試線,將作為陜西打造千億級光子產(chǎn)業(yè)集群的核心支點,為“追光計劃”從藍(lán)圖邁向?qū)嵺`注入關(guān)鍵動力。

陜西“追光”集群成型

  陜西光子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,是一次有準(zhǔn)備的“換道超車”。

  記者獲悉,2021年,陜西在國內(nèi)率先實施“追光計劃”,將其作為省級重點產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行打造。短短三年,這一前瞻布局已初見成效。陜西光子企業(yè)數(shù)量從2021年初的不足100家,增長至2024年的379家;產(chǎn)業(yè)規(guī)模從150億元躍升至365億元,實現(xiàn)了翻倍增長。

  值得一提的是,陜西已初步構(gòu)建起“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產(chǎn)業(yè)鏈條。

  陜西發(fā)展光子產(chǎn)業(yè)的最大底氣,來自其深厚的科研積累和人才資源。從1962年中國科學(xué)院光學(xué)精密機(jī)械研究所西安分所(西安光機(jī)所前身)成立起,陜西就在光子學(xué)領(lǐng)域埋下了創(chuàng)新的種子。

  記者從中國科學(xué)院西安光機(jī)所了解到,其自主研制的阿秒條紋相機(jī)在2019年、2021年先后創(chuàng)下159阿秒、75阿秒的當(dāng)時國內(nèi)最短時間紀(jì)錄,展現(xiàn)了陜西在超快光學(xué)領(lǐng)域的強大實力。

  2021年,陜西依托完備的光學(xué)科研基礎(chǔ)鏈條以及在光子利用技術(shù)領(lǐng)域的深厚積累,率先發(fā)布“追光計劃”,以“一機(jī)制+一中心+一平臺+一基金+一聚集地+一大會”的“六個一”重點舉措持續(xù)推動光子產(chǎn)業(yè)集群快速壯大。

  2023年11月,陜西啟動“躍遷行動”,光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展取得階段性成效。2024年,陜西啟動新一輪“追光行動”,部署開展培育千億級光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群行動計劃,圍繞光子技術(shù)優(yōu)勢和產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ),構(gòu)建“一核兩翼”光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群空間布局。其中,“一核”指西安高新區(qū)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展核心區(qū)。“兩翼”即西咸新區(qū)和銅川市光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展集聚區(qū)。

  4年來,在“追光計劃”的引領(lǐng)下,陜西光子產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值以每年超過50%的速度遞增,2024年總產(chǎn)值超過300億元。

  此次8英寸硅光平臺的通線,與光電子先導(dǎo)院已建成的6英寸化合物先進(jìn)光子器件中試平臺形成互補,共同構(gòu)成“化合物半導(dǎo)體+硅光”雙中試平臺格局。這一布局使光電子先導(dǎo)院成為國內(nèi)少數(shù)具備全鏈條中試能力的創(chuàng)新載體,為“追光計劃”培育千億級集群提供從基礎(chǔ)研究、中試驗證到量產(chǎn)落地的全鏈條支撐。

構(gòu)建光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)

  業(yè)內(nèi)人士表示,隨著新一輪科技革命加速到來,作為未來科技的一項關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)——光子技術(shù)正以空前的影響力重塑產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局。在光子技術(shù)與AI深度融合的趨勢下,加上技術(shù)突破、生態(tài)協(xié)同、人才聯(lián)動等多重效應(yīng),陜西光子產(chǎn)業(yè)從“聚鏈成群”向“生態(tài)聚變”升級。

  本次光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上,陜西還展示了其在光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)上的宏大布局。

  光子科技實驗室作為高能級創(chuàng)新聯(lián)合體,由中國科學(xué)院西安光機(jī)所牽頭建設(shè),將打造“大科學(xué)裝置+大創(chuàng)新平臺+大基金體系+大科創(chuàng)生態(tài)”四位一體的創(chuàng)新體系。該實驗室定位為“政府智囊、創(chuàng)新中樞、產(chǎn)業(yè)鏈推手”三重角色,旨在突破體制機(jī)制障礙,實現(xiàn)科研、產(chǎn)業(yè)、金融、國際資源深度協(xié)同。

  在建設(shè)規(guī)劃方面,實驗室確立了“源頭創(chuàng)新+產(chǎn)業(yè)整合”雙輪驅(qū)動的總體思路。

  在源頭創(chuàng)新端,光子實驗室以先進(jìn)阿秒激光設(shè)施國家大科學(xué)裝置為核心,整合高校、院所的科研資源,聚焦基礎(chǔ)研究與技術(shù)突破。在產(chǎn)業(yè)整合端,則通過光子產(chǎn)業(yè)基金群、共性技術(shù)平臺、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)三大載體,實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)高效集聚。

  隨著總投入超10億元的光子科技實驗室全面啟動,陜西在光子產(chǎn)業(yè)這條賽道上已不再滿足于跟隨。對于光子科技實驗室的培育建設(shè)目標(biāo),中國科學(xué)院西安光機(jī)所副所長付玉喜給出了清晰的時間表與路線圖。

  短期來看,將重點推進(jìn)三大任務(wù)——第一是集聚人才,引進(jìn)國際頂尖科學(xué)家,目標(biāo)吸引高端人才30人,集聚科研人員超過100名。第二是突破技術(shù),攻克超30項光子領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù),建成3條中試生產(chǎn)線、2個專業(yè)孵化載體。第三是壯大產(chǎn)業(yè),助推陜西全省光子產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值在2027年突破500億元。

  “以上是我們要在2027年實現(xiàn)的目標(biāo)。到2030年,將實現(xiàn)建成具有全國重要影響力的光子科技實驗室,全面建成‘阿秒’大科學(xué)裝置,爭創(chuàng)國家實驗室。從長遠(yuǎn)來看,我們要打造原始創(chuàng)新策源地,創(chuàng)建國際化光子科技、產(chǎn)業(yè)中心。”付玉喜表示。


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