近日，中國半導體裝備領域傳來重磅捷報。江蘇影速集成電路裝備股份有限公司（以下簡稱“影速集成”）正式宣布，其完全自主研發的FEM2000激光直寫曝光設備已成功出貨，交付予北京某半導體顯示產業的龍頭企業。這一事件遠非尋常的設備交付，它標志著我國在高端顯示核心制造裝備打破了日韓企業在該環節長達數十年的技術壟斷，為“中國屏”邁向高端化、實現產業鏈自主可控注入了最核心的動能。
打破壟斷，攻克顯示制造“最后堡壘”
在面板制造復雜繁冗的工藝流程中，曝邊、打碼以及金屬掩模版（FMM/CMM）的制造環節，因其技術門檻極高、工藝精度要求嚴苛，一直是國產設備難以逾越的技術高地。長期以來，這些核心設備與工藝幾乎完全依賴日本、韓國進口，不僅采購成本高昂、售后服務受限，更關鍵的是，這使得中國龐大的顯示產業在供應鏈安全上存在“卡脖子”的隱憂，產業升級的命脈掌握在他人之手。
影速集成此次交付的FEM2000設備，正是直指這一行業痛點。該設備成功實現了從G6到G10.5代線全尺寸的激光直寫曝光技術國產化替代。這意味著，無論是用于智能手機的中小尺寸屏幕，還是用于電視的65英寸至110英寸超大尺寸面板，中國企業都擁有了國產化的核心裝備選擇，從根本上筑牢了產業鏈安全防線。
硬核技術，鑄就“自主化”底氣
影速集成成立于2014年，自創立之初便深耕于激光直寫光刻技術及半導體前道檢測設備領域，是一家擁有深厚技術積淀的國家級專精特新企業。公司的技術優勢并非一蹴而就，其自主研發的雙臺面激光直接成像設備早已在高端PCB及載板制造領域打破了國外壟斷，并兩次被認定為江蘇省首臺（套）重大裝備，為進軍顯示領域奠定了堅實的技術基礎。
FEM2000設備集成了影速集成最尖端的技術成果，其優勢體現在三大方面：首先，是極致的精度。設備采用先進的激光直寫技術，無需傳統的掩模版，可直接在超薄且易碎的玻璃基板上進行微米級線寬的刻畫。這一精度水平，恰好滿足了Micro LED、OLED等下一代顯示技術對精細圖形化的苛刻要求，為產業技術迭代提供了設備保障。其次，是卓越的靈活性。 設備具備開放式的工藝接口，能夠快速適配不同尺寸、不同材料的基板，極大地滿足了面板廠商在新技術研發階段“小批量、多型號”的試產需求，顯著縮短了研發周期，加速了創新步伐。第三，是全面的數據安全。從版圖設計到曝光參數，全部由國內設備進行閉環處理，杜絕了工藝數據外泄的風險，保護了企業的核心知識產權。
賦能未來，開啟“中國智造”新篇章
目前，FEM系列設備的應用已深入UV-Glass基板處理、FMM/CMM金屬掩模版制造、大尺寸掩模版量產等核心場景。其獨特的動態聚焦系統與多場同步曝光技術，有效突破了傳統光刻技術在均勻性和精度上的限制，為超大尺寸面板的良率提升提供了關鍵支撐。
此次FEM2000的成功交付，是一個里程碑，更是一個新起點。它象征著中國顯示產業裝備從輔助環節走向核心環節，從技術“跟跑”到與國際巨頭“并跑”的戰略性轉變。展望未來，隨著以影速集成為代表的國產裝備企業持續創新、深度滲透，中國顯示產業將構筑起愈加堅實的安全壁壘，并在全球市場中贏得更響亮的話語權，真正實現從“顯示大國”到“顯示強國”的跨越。
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