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蘇州科韻激光取得一種 LED 晶圓片切割專利

激光制造網 來源:金融界2024-08-26 我要評論(0 )   

8 月 25 日消息,天眼查知識產權信息顯示,蘇州科韻激光科技有限公司取得一項名為“一種 LED 晶圓片的切割方法、系統及設備“,授權公告號 CN114346478B,申請日期為 20...

8 月 25 日消息,天眼查知識產權信息顯示,蘇州科韻激光科技有限公司取得一項名為“一種 LED 晶圓片的切割方法、系統及設備“,授權公告號 CN114346478B,申請日期為 2022 年 2 月。

專利摘要顯示,本發明公開了一種 LED 晶圓片的切割方法、系統及設備,所述方法包括:激光器以脈沖串輸出原始激光束;通過激光束整形組件將所述原始激光束轉換成衍射激光光束;所述衍射激光光束經過聚焦物鏡聚焦,在 Z 方向上形成若干個焦點;將 LED 晶圓片放置在可以移動的 X、Y 方向平臺上,使聚焦后的衍射激光光束聚焦到所述 LED 晶圓片內部,移動 X、Y 方向平臺,沿著移動的方向在所述LED 晶圓片內部形成若干個激光炸點;將所述LED 晶圓片通過外力輔助沿所述激光炸點軌跡切割,以形成多個單獨的晶粒。本發明能夠滿足各類 MiniLED 晶圓片的切割需求,使得切割的晶圓片斜裂角度控制在 2 度以內,切割無錐度;同時切割后 LED 晶圓片的正面和反面直線度可以控制在 5μm 以內。


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激光應用激光切割焊接清洗
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