薄膜體聲波諧振器縮寫為FBAR，是近期發展起來的一種MEMS技術頻率器件，主要用在射頻領域，作為射頻濾波器、雙工器、多任務器和振蕩器等。與傳統聲表面波器件相比，具有頻率高、體積小、承受功率大、效率高、可集成化等優勢。
薄膜體聲波諧振器存在的雜質：
主要是去除諧振器的基壓及外殼上的油污，還有塵埃的顆粒。
再則，外殼模板是依靠外殼法蘭邊掛住外殼轉換模板定位孔邊沿來實現定位的，無法翻轉或較大角度傾斜，清洗污垢的話，如直接用氮氣吹外殼內部里面會導致外殼被吹出。
超聲波清洗機的優勢之在：
可以最大程度地清除內部污染，從而避免污染影像到產品的性能。
威固特VGT-607FTA超聲波清洗機對薄膜體聲波諧振器的幫助，從以下內容可體現出：
一、概述：
該清洗機是專為晶體行業類的產品而設計的超聲波清洗設備。整個工藝流程由PLC編程控制，可根據清洗工藝要求，靈活設置動作參數。采用全自動化運作過程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時間長，實現清洗流程的自動化作業，降低操作人員勞動強度，提高設備的生產能力和清洗效果。
二、清洗工藝流程：
自動上料——洗凈超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——純水超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——自動下料。
三、各槽的規格配置：
1、各清洗槽內槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；
2、所有槽均采用不銹鋼材料制作；
3、所有加熱槽體外側均貼有保溫材料保溫。
四、機械臂結構組成：
多臂型機械臂由機架、機械臂傳動系統、吊臂、電氣控制裝置等組成。
機架：全不銹鋼制作的支撐架結構，焊接在設備底盤上，以保證機械強度及機械臂的穩定性。頂部安裝有水平橫移導軌。
橫移傳動系統：采用氣缸配合直線導軌傳動。PLC程序控制動作。保證橫移動作的相對精度和穩定性。
