德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺(tái) 型號(hào) P-541.ZCD
公司介紹：
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國(guó)成立。公司自成立以來(lái)，一直以德國(guó)公司的身份為國(guó)內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購(gòu)服務(wù)。
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術(shù)
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測(cè)量
計(jì)量
產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)：P-541.ZCD
主動(dòng)軸：Z
集成傳感器：電容式
-20至120伏時(shí)Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120伏時(shí)的開環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復(fù)精度：<2納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度
θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：±15微弧度
