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產品特點
l ? 非接觸閉式氣浮結構 ? 行程50~200mm可選
l ? 重復定位精度±75nm ? 全行程直線度0.1μm
l ? 優化線纜管理 ? 可定制化設計
應用領域
QFUZ系列是一款側掛在大理石橫梁上的精密氣浮Z軸，閉式氣浮結構，剛度大，用于飛秒激光加工、測試測量、半導體及光子學等行業。
結構特點
精密氣浮Z軸閉式氣浮結構，氣浮導軌四面均勻受力，對于一些大體積、大負載在氣浮導軌上不均勻分布的應用，更能突出性能優勢，行程50~275mm可選。配置無摩擦重力平衡氣缸，有效地抵消電機向上持續輸出力，提升精度性能，同時斷使能后負載不會受重力影響而向下脫落。
精密性能
氣浮導軌實現無摩擦地平滑移動，與摩擦式導軌相比，氣浮的非接觸式結構，使直線度、平面度、Pitch Yaw、跟隨誤差、定位精度和重復定位精度得到提高 。
線纜管理
使用高質量帶屏蔽的線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的干擾，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能，以確保無故障操作。
定制化
可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm；定制最大加速度5m/s2；行程也可接受定制。
規格指標
型號 | 單位 | QFUZ-50 | QFUZ-100 | QFUZ-150 | QFUZ-200 | |
行程 | mm | 50 | 100 | 150 | 200 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 |
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | |
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（5 定制） | ||||
最大負載 | kg | 20 | ||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下的指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。