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產品特點
? 疊層式布局 ? 納米級微動步距
? 緊湊型中空結構 ? 高動態性能，高精度
? 雙直驅電機驅動 ? 集成式線纜管理
應用領域
RBZK系列是帶中空結構的精密運動臺，大尺寸通孔、高動態性能滿足晶圓檢測應用，同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它高端制造等行業。
設計特點
RBZK系列雙軸中空精密運動臺，疊層緊湊的中空外形結構，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測中至關重要。高精度滾柱導軌和精密研磨的加工表面，專業的裝配工藝，獲得直線度±1μm，平面度±2.5μm。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統誤差影響，提升整體精度性能。可選電子分辨率0.3nm或5nm。
雙驅結構
每軸用雙直線電機驅動，龍門交叉解耦控制算法，保證雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準確的定位，直線電機的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動結構的運動臺，性能有了提升。
線纜管理
使用高質量無塵拖鏈，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔凈室內。
規格指標
型號 | 單位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
軸系 | 軸系 | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | |||
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | ||
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||
標準值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | ||
標準值 | ±4 | ±6 | ±7 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負載 | kg | 20 | 30 | 50 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決于負載大小。