產品特點

l ?  非接觸式直驅結構                                                  ?  面式十字疊層結構

?  抗蠕動交叉滾柱導軌                                              ?  高動態性能，高精度

?  百納米級定位精度                                                  ?  結構可接受定制

應用領域

RBLBAC系列是一款百納米級精度的雙軸精密運動臺，具有納米級微動步距，百納米級定位精度，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、激光微加工、測試測量及光學檢測等領域。

結構特點

每軸采用雙直線電機驅動，推力大，高動態性能，在低速運行時保持平穩，在高速狀態不會產生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導軌導向，線線接觸，運動平穩，交叉排列，多方向受力穩定。平面式疊層式結構緊湊，降低XY軸高度，提升整體精度性能。

精度性能

雙軸精密運動臺的定位精度±0.3μm，高重復定位精度±75nm，直線度±0.75μm，是高精度場所的理想選擇。

精密控制

配合高性能的控制和驅動器，可提供優異的伺服性能、先進的控制算法，從而提高動態性能，控制器有誤差補償功能。

定制化

定制斷電抱閘功能，抱閘后位置相比抱閘前位置漂移誤差10nm內；定制用于真空環境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振器等整套運動控制方案。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決于負載大小。