產品特點

l ?  閉式氣浮結構                                                                ?  直驅零齒槽效應

l ?  定位精度±0.5arc sec                                                   ?  同步跳動誤差10nm

?  精準回零誤差                                                                ?  高速度穩定性

?  最大承載100kg                                                              ?  解決氣浮抱死問題

應用領域

QFR系列氣浮轉臺輕量化設計、有效降低高度、減小多軸系統集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩定性和納米級同步跳動。產品設計滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量、高精度計量、光學檢測和MEMS/納米技術設備等高端行業。

結構特點

由無齒槽直驅力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結構設計使工作臺面降到最低，減小系統誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉動。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列氣浮轉臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負載100kg，電動控制和手動轉動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。

閉環反饋

使用圓光柵閉環反饋，分辨率優于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統，優化氣浮結構，氣浮轉臺能精準回零。

定制化

氣浮轉臺可安裝滑環，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導航等應用。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉動臺面上25mm處，測試速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如需非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 軸向和徑向跳動為同步跳動誤差，測微儀和標準球測量，計算為最大值-最小值-標準球誤差-同心度。

3. 電子分辨率取決編碼器線數及控制器的細分倍數。

4. 最大轉速取決于負載大小，最大定制轉速7800 rpm。

5. 為保護氣浮軸承建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

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